GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀
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GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀

GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個(gè)蒸鍍加熱舟，且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現對有機材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿(mǎn)足發(fā)光器件及有機太陽(yáng)能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性?xún)r(jià)較高的實(shí)驗設備。

功能特點(diǎn)
  • 真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內。
  • 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。
  • 真空腔體設有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個(gè)CF150閘板, 閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規）、5個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規，4個(gè)備用，便于,安裝其他設備）。
  • 在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
  • 1
  • 4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動(dòng)擋板，有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。
  • 樣品臺安裝在腔體的頂部。
  • 腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。
  • 可使用循環(huán)水冷機。
技術(shù)參數
安裝條件本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水設備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）
電AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥。
工作臺落地式，占地面積2m2以上
通風(fēng)裝置需要
輸入單相AC220V，50Hz/60Hz，功率
蒸發(fā)輸出電壓AC0-8V連續可調，最大蒸發(fā)電流200A，最大蒸發(fā)功率
真空腔

?300mm（內徑）×400mm，不銹鋼，內壁經(jīng)電拋光處理

1?1?1

腔門(mén)?200mm
觀(guān)察窗?95mm，采用專(zhuān)用密封圈密封
真空泵高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s
真空度5.0×10-6torr（泵開(kāi)啟40min后）
極限真空度5.0×10-7torr（加熱溫度為100℃-150℃）
漏率5.0×10-7Pa/s
樣品臺

?140mm

1

蒸發(fā)舟與樣品臺間距260mm
冷卻水需量15L/min
尺寸650mm×1200mm×1600mm
重量600kg

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